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祝贺东莞市人民医院定制PECVD顺利交付使用

发布时间：2023-03-28 浏览次数：709

2023年3月27日，我司为东莞市人民医院（南方医科大学附属医院）定制的智能PECVD系统顺利交付使用。

PECVD(等离子体增强化学气相沉积)可以生产出仅靠普通 CVD 技术无法产生的独特化合物和薄膜，并生产出具有极高耐溶剂性和耐腐蚀性以及化学和热稳定性的薄膜，广泛用于半导体工业制造集成电路，在光伏、摩擦学、光学和生物医学领域也有许多应用。

在生物医学领域，通过生产纯度极高的致密惰性涂层，PECVD 在医疗植入物研究方面也具重要应用作用。

东莞市人民医院始建于1888年，是一家集医疗、教学、科研及预防保健为一体的大型综合性三级甲等医院。2021年3月，医院入选广东省高水平医院重点建设医院。为加大生物医学研究力度，东莞市人民医院转化医学研究中心通过公开竞标和综合评估，选定我司为其研究项目提供定制PECVD系统。

该PECVD系统由RF射频系统、气体质量流量控制系统、衬底控温系统、真空系统组成，采用集中总线控制技术的诺巴迪智能人机交互触控系统，确保实验过程的便捷、直观、高效。

通过我司售后技术人员的培训交接，得到了现场验收及操作人员的充分肯定，设备顺利通过验收。

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