双炉膛滑轨式PECVD
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真空气氛循环退火炉
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高真空钨丝烧结炉(2200℃)
全自动制氢机H1000
推拉式管式烧结炉
高压高真空旋转摆振烧结炉
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快装法兰
均温加热平台