发布时间:2021-08-18 浏览次数:1494
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设备简介:
适用于布里奇曼方法(坩埚下降法),在真空、保护气氛或氧化气氛下的晶体生长,可预存15组工艺曲线,工艺曲线包括温度,气体流量,晶体进给速度(长晶速率),任意切换;长晶结束,报警提示,生成实验报告并导出(包含但不限于温度,气体流量,进给速率等)。
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配置详情
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项目 |
设备技术指标选择 |
加热系统
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晶体生长环境选择 |
氧化气氛/保护气氛/真空状态 |
长晶温区选择 |
单温区200mm /300mm/400mm 双温100+100/200+200mm /300+300mm 三温:200+200+200mm |
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反应腔尺寸选选择 |
Φ50/Φ60/Φ80/Φ100(更多选择联系客服) |
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主控最高工作温度 |
1150℃/1650℃ |
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控温精度 |
300~1150±0.5℃ |
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主控炉膛材料 |
高纯多晶纤维复合耐火保温层 |
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主控炉膛模式 |
环形加热整体密闭 |
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密封方式 |
水冷不锈钢密封法兰 |
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提拉系统
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长晶模式选择 |
坩埚下降法 /坩埚平移法 |
物料装载模式 |
上吊装下推进模式/下装载模式 |
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晶体运动方式选择 |
坩埚只移动/ 坩埚移动并旋转 |
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结构 |
双层滑轨结构,C7大力距滚珠丝杠,SPY铝托硬光轴直线导轨 |
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长晶进给系统 |
伺服进给高精度运行平稳,大扭矩谐波减速进给速度30μm/h~30000μm/h可调,物料下推进运动模式,无旋转 |
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装料密封方式 |
电动密封法兰 |
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装料密封电机 |
57CM23闭环步进电机,平稳高速 |
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供气系统
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流量计选择 |
1/2/3路质子子流量计100sccm 200sccm ,500sccm |
气路管芯 |
专用不锈钢气体管道(1/4") |
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调节阀类型 |
手动调节阀 |
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管道常态 |
常闭 |
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测量精度 |
±1.0%F.S |
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线性度 |
±0.5%F.S |
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重复精度 |
±0.2%F.S |
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压力范围 |
-0.1-0.15 MPa |
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响应时间 |
2S |
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工作环境温度 |
(15~50℃) |
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精度保证温度 |
(15~35℃) |
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真空系统
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真空类型选择 |
NBD-4C真空泵/ NBD-103(A) 分子泵系统 |
真空计类型 |
数字真空计/模拟真空计 |
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系统真空 |
≤5pa /2.8*10-3pa |
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操控系统
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操控模式 |
1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置; |
长晶工艺设置 |
可预存15组工艺曲线,工艺曲线包括温度,气体流量,晶体进给速度(长晶速率),任意调用;长晶结束,报警提示,并生成实验报告导出,()包含但不限于温度,气体流量,进给速率等) |
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温度校正 |
主控控温温度和试样温度的差值,系统全程进行非线性修正(询问客户长晶温度点,可做特别效验) |
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实现功能 |
可适用于布里奇曼法在真空或气氛或空气状态生长的各类晶体(坩埚下降法) |
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系统保护 |
超温报警,过流保护,断偶提示 |
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随机产品配置 |
反应腔1根 ,镍铬铝吊丝5米 ,说明书1份;随机工具等。 |
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服务项目 |
运输及保险费,包装费,安装及技术服务费; 提供12个月质保,触控系统24个月,终身保修 |
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