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NBD-103(A)真空系统

发布时间:2017-11-16  浏览次数:4374

产品型号:NBD-103(A)

该系统采用分子泵作为主工作泵,采用机械泵作为分子泵前级泵,真空系统组成机械泵内部已配有隔断放气装置,真空系统组成它主要由连接管道,分子泵,机械泵构成,通过标准配件连接,全部采用不锈钢材料,电抛光处理。系统设计有预抽功能。



                                                                                                  
技术指标:
环境温度5~32℃,
空气相对湿度≤85%,
工作电电压:220V±10%  50~60HZ
功率:1千瓦
系统整体极限真空度:4.3X10Pa
外形尺寸:850 X600 X 650mm

  技术参数:

序号

主要配置

NBD-103(A)系统

NBD-103(B)系统

1

机械泵

抽气速率:4L/S

电机功率:400W

极限压强6X10-2Pa

抽气速率:6L/S

电机功率:500W

极限压强6X10-2Pa

2

分子泵参数

 

抽气速率:100L/S

极限压强:6X10-6Pa

启动时间:<2min

额定转速:43000转/分

冷却方式::风冷/水冷

抽气速率:600L/S

极限压强:6X10-6Pa

启动时间:<2min

额定转速:27000转/分

冷却方式::风冷/水冷

3

分子泵控制电源

电压:200~240V

输出功率:250W

加速时间:3分钟

输出频率:高速704Hz±10%

      低速430 Hz±10%

电压:380~410V

输出功率:400W

加速时间:3分钟

输出频率:高速704Hz±10%

      低速430 Hz±10%

4

复合真空计

工作电电压:

220V  50~60HZ

电阻规阻值:约85 欧

自动保护(电离)>10Pa

电离规管测量范围:100~1010-5Pa

电阻规管测量范围:105 ~10-1 pa

工作电电压:

220V  50~60HZ

电阻规阻值:约85 欧

自动保护(电离)>10Pa

电离规管测量范围:100~1010-5Pa

电阻规管测量范围:

105 ~10-1 pa

5

高真空手动隔断阀

采用氟胶圈密封,快卸法兰接口漏率达5X10-9 Pam3/s

采用氟胶圈密封,快卸法兰接口

漏率达5X10-9 Pam3/s

6

连接管路

采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于 1×10-9Pa.m3/s

采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于 1×10-9Pa.m3/s


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