配置详情

	主要特点： 1、射频电源最大输出功率：500W（连续可调），最大反射功率 70W； 2、出色的电磁波屏蔽方案，高效、安全！ 3、异形高纯石英炉管，大容量反应空间； 4、独有的旋转（60档精调设计）摆振结构，保证物料与等离子体的充分接触； 5、三路高精度质量流量计（可依要求定制 ），集成混气系统； 6、独有进出料设计，保证设备在结构复杂状态下的便捷进出料； 7、射频系统、真空系统、旋转摆振系统全面集成于一体，7英寸全触屏操作，操作便捷、直观； 8、可保存六组工艺参数，随时调取； 9、实验数据可自动截图，并支持USB接口导出。
型号	NBD-PECVD-120ITD3Z
电气规格	AC220V/1.5KW
设备尺寸	W1300mm×H1250mm×D760mm；
反应腔室	Φ120*L300mm（可定制，管内焊接三组搅拌挡板），非射频区管径：φ60mm；
翻转速度	0.1～6转/min（无极调速）；
翻转倾角	-3°～+3°  最大倾倒角度30°
反应腔压力	5~80pa
法兰结构	航空铝快开模式；
电动推杆功率	50W
RF 电源	输出功率10～500W 任意连续可调，射频频率: 13.56MHz ±0.005% ，全自动匹配；
真空测试	数字真空计获取装置；
真空获取	NBD-4C机械真空泵(220V/50Hz)，功率：0.4KW，抽速：4m³/h；
供气系统	质量流量控制器（量程及标定可定制）精度：±1%F.S；响应时间：1-4秒；
设备细节
部分界面
控制系统		1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。
净重	约320KG
设备使用注意事项	1. 射频匹配器一般处于自动匹配状态，一般功率需达到50W以上才能匹配； 2. 若采用手动匹配，将功率设到60W左右，手动调谐匹配合适时，再增加功率 3. 工作时，需改变腔体的气流量，先要要把功率设置为零，不能直接按“OFF”按键关闭射频输出。
服务支持	一年有限保修，提供终身支持；

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