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双温区管式炉1200℃

发布时间:2019-01-21  浏览次数:4705

 

设备简介:

为满足各类CVD工艺的要求,我们将多个温区的控制仪表全部融合到了智能控制系统里,您只需通过轻轻点击触摸屏即可完成所有的参数设定。在满足不同温区梯度控制的同时,还可将多个温区设定为同一温度点,作为加长的单温区使用。它延续了开启式管式炉的经典设计,美观与实用同在!





  

 

 

 

 

 



   配置详情

1. 双层钢结构;

2. 高纯度Al2O3纤维耐火保温材料,最大节约能源;

3. 耐火陶瓷上的高纯度氧化铝涂层可延长使用寿命;

4. 氧化铝管塞可帮助您在管内建立自定义的温度梯度。

产品型号

NBD-O1200-50T2G

NBD-O1200-60T2G

NBD-O1200-80T2G

NBD-O1200-100T2G

电气规格

AC220V    2KW*2

可达温度极限

1200 ℃ (<1小时)

连续温度

1100 ℃ (连续)

可达加热速率

≤  20 ℃/分钟

加热区长度

200mm*2(双温双控:每个温区均可独立运行)

炉管尺寸

Φ50*1000mm

Φ60*1000mm

Φ80*1000mm

Φ100*1000mm

温场分布

 

如图所示:此为该设备温区曲线图(恒温区尺寸:100mm*2

控制系统

 

1.可预存15条温度曲线,避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦;

2.实验过程更加直观,操作更加便捷;

3.NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,非线性式样温度修正;

4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。

温度精度

+/- 1 ℃

加热元件

 

Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金

密封系统

 

 

 

真空度:≤10Pa(机械泵)

CVD实验原理

 

采用双温区结构,通过对每个温区单独控制,可以营造不同的温度梯度,便于各种CVD实验。

供气系统

 

采用浮子流量计控制气体流速,与设备一体化,方便控制,且出厂前已进行漏气测试工作。

净重

60KG

设备使用注意事项

1. 设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;

2. 设备使用时,炉管内压力不得超过0.125MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;

3. 真空下使用时,设备使用温度不得超过800℃。

   4. 供气钢瓶内部气压较高,向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在选购试验用小压力减压阀,减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会更加精确安全。

   5.当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;

   6.高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃

   7.加热的实验时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.15MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

服务支持

1年质保,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如炉管和O形圈等) 

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