发布时间：2023-06-13 浏览次数：273
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设备简介：
该设备主要应用于过渡金属二硫化物材料制备。设备分两个温区，高温区用于硫粉的蒸发，低温区用于MoO3的蒸发及硫化物的沉积。适当调整衬底和蒸发源的距离、蒸发温区的温度及进气流量，可得到大面积的单层二硫化物材料。 本设备仍可作为满足实验参数的常规CVD设备使用。
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技术参数：
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1.炉体与控制系统集成一体化，使试验方便快捷直观。 |
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炉体尺寸 |
1100mm×1250mm×750mm(宽×高×深） |
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刚玉管尺寸 |
Φ80*1000mm |
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主控升温速率 |
建议≤10℃/min |
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使用温度 |
1200℃以下可长期使用 |
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控温精度 |
±1℃ |
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最高温度 |
1100℃ |
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加热元件 |
高温合金丝 |
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加热功率 |
5KW |
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主控炉膛材料 |
高纯多晶纤维复合耐火保温层 |
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主控炉膛模式 |
开启式 |
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密封方式 |
不锈钢密封法兰 |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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加热温区长度 |
双温 210mm*2 |
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操控模式 |
NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7英寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式； |
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温度曲线设置 |
主加热可预存15条温度曲线，每条曲线可设置30段"时间—温度曲线"，实时监控，动态真实显示“时间-温度曲线” |
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温度校正 |
主控控温温度和试样温度的差值，系统全程进行非线性修正（询问客户常用温度点，做特别效验） |
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真空泵类型 |
直联旋片式真空泵（双级旋片） |
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抽气速率 |
4(L/s) |
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进排气连接口 |
KF16/25（mm） |
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用油量 |
0.6～1L |
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电机转速 |
1440（rpm） |
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工作环境温度 |
5～40℃ |
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噪音（dB） |
≤56 |
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真空计类型 |
数显真空计 |
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系统真空 |
3~5pa （另选配分子泵可达6.3*10-3pa） |
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流量计类型 |
2路质量流量控制器 300SCCM,500SCCM, 可根据客户需求选择流量范围 |
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气路管芯 |
专用不锈钢气体管道（1/4"） |
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调节阀类型 |
手动调节阀 |
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管道常态 |
常闭 |
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测量精度 |
±1.0%F.S |
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精度保证温度 |
15～35℃ |
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系统保护 |
超温报警，过流保护，断偶提示 |
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电气规格 |
220V 50Hz 5KW |
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随机产品配置 |
石英炉管1根 ，炉塞1套 ，炉钩一只，说明书1份;随机工具等。 |
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服务项目 |
运输及保险费，包装费,安装及技术服务费； 提供12个月质保，触控系统24个月，终身保修。 |
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| 控制系统 |
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1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； |
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* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746 |
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