气柜结构图

配置详情

	触控屏用途： NBD触控屏为质量流量控制器的集成控制终端。提供工作电源、 操作控制、流量设定和流量显示等功能。流量显示仪可直接与我厂的S49系列质量流量控制器（MFC）或S49系列质量流量计（MFM）配套使用。同时也可以与其他型号的质量流量控制器配合使用。  触控屏包含如下功能： ① 为质量流量控制器或流量计提供工作电源；  ② 手动操作控制、流量设定；  ③ 气体流量的显示；  ④ 可以与其他型号的质量流量控制器配合使用。
产品型号	NBD-2Z	NBD-3Z			NBD-4Z
流量计类型	质量流量控制器
管道示意图				采用洁净抛光的气路专用耐腐不锈钢管或耐腐蚀抗老化的聚四氟乙烯气管（可选）
进气接口数量 （多路可定制）	2		3			4
接口尺寸	1/4”双卡套接头
测量精度	±1.0%F.S
流量计测量范围	50、100、200、500Sccm可选
压差范围	0.05-0.4MPa
净重	35KG
设备使用注意事项	1.确保管道内压力＜0.15MPa； 2.气柜连接好气瓶后要用肥皂水进行检漏测试；
服务支持	1年质保，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件）。

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